高感度・高エネルギー分解能
分解能3μmでの定量イメージングXPS測定
豊富な分析オプションと前処理オプション

高性能X線光電子分光装置 ESCALAB Xi⁺

  • 超高性能
    高感度・高エネルギー分解能測定を実現
  • 微小領域測定
    スペクトル測定時には20μmφまでの微小領域測定が可能
  • 定量イメージング
    3μm以下の空間分解能での定量パラレルイメージング機能を装備
    イメージからのスペクトル抽出が可能
    主成分分析(PCA)による成分相マッピングが可能
  • 複合分析装置化に対応
    ISS測定、REELS測定標準
    UPS、AESなどの分析オプションを用意
  • 豊富な前処理オプション
    破断、劈開、加熱、冷却、高圧反応セル、ガス導入など
  • 最新データシステムによる容易な装置制御
    装置制御、測定、解析、レポート作成の統合制御
    自動キャリブレーション機能搭載


仕様

シリーズ ESCALAB Xi⁺
希望小売価格
(税抜)
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