電子顕微鏡用 導電性薄膜製膜作製装置 オスミウム・プラズマコーター

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電子顕微鏡観察のお悩みを解決!
チャージアップ防止、粒状性・熱ダメージ軽減に絶大な効果を発揮します。

  • オスミウム・プラズマコーターとは
    オスミウム・プラズマコーターは「直流グロー放電による負グロー相領域内でのプラズマ製膜法」を用いた、主にSEM試料用の導電性薄膜作製装置です。プラズマCVD法により、非晶質のオスミウム導電性薄膜(オスミウムコート)を短時間に形成することができます。非常に強固かつなめらかな表面の導電性薄膜が試料に対し熱ダメージを与えることなく得られます。

  • OPC-EVOはタッチパネルによるユーザーフレンドリーな操作性を実現 安全性、膜厚の再現性というオスミウム・プラズマコーターの最大の特長を継承しつつ、タッチパネルによるユーザーフレンドリーかつ直感的な操作性を実現したことで、初めて操作される方でも、安全かつ簡単にご使用頂くことが可能です。
    また、これまではオプションとしていた超薄膜および親水化処理機構を標準搭載、積層モード、使用言語の設定、パスワードの設定などを新たに組み込んでいます。
    *OPC-EVOの販売に伴い、OPC60Aの生産・販売を終了いたしました。

  • OPC80Tはプラズマ重合膜の製膜が可能(フィルジェン社独自)
    プラズマ重合膜(ナフタレンにとるハイドロカーボン膜)は強靭性、粒状性がない、耐熱性、絶縁性の特性を有します。
    これらの特性により、以下のアプリケーションに有用です。
    ・FIB試料用保護膜
    ・包埋樹脂と試料との剥離防止
    ・TEMグリッド用支持膜

仕様

シリーズ オスミウム膜専用タイプ(タッチパネル式) オスミウム膜 / プラズマ重合膜 両用タイプ
型番 OPC-EVO OPC80T
本体のサイズ
(W)x(D)x(H)mm
400×350×330450×410×390
重さ 約20kg約30kg
電源 単相AC100V 50/60Hz 10A
(ロータリーポンプの供給電源を含む)
単相AC100V 50/60Hz 12A
(ロータリーポンプの供給電源を含む)
ガス反応容器 ガラス容器 120(φ)×73(H)mmガラス容器 160(φ)×150(H)mm
最大試料寸法 33(W)×33(D)×4(H)mm又は、36(φ)×14(H)mm44(W)×44(D)×4(H)mm 又は、32(φ)×14(H)mm
SEM試料台用
陰極電極
大型試料用電極
10mmφ×7個又は、15mmφ×4個又は、36mmφ×1個
マルチタイプ電極
10mmφ×2個 15mmφ×2個 及び、
32mmφ×1個を同時に製膜
生成膜厚 数nm~数100nm
最小膜厚設定 超薄膜モード:0.1nm~、通常モード:1nm~
生成膜 オスミウム薄膜オスミウム薄膜、プラズマ重合膜(ナフタレン)
四酸化オスミウム
昇華室
残量確認窓付密封脱着構造(脱着後冷凍保存可)
ナフタレン昇華室 ヒーター付、残量確認窓付脱着構造
ガス導入方式 四酸化オスミウム結晶を専用昇華室で昇華させて導入四酸化オスミウム結晶、又は
ナフタレン結晶を専用昇華室で昇華させて導入
希望小売価格
(税抜)
お問い合わせ お問い合わせ
ロータリーポンプ OsO4フィルター付
電源 AC100V 50Hz(60Hz) 550W AC100V 50Hz(60Hz) 200W
全負荷電流 単相 9.0A(8.4A) 単相 5.6A(4.8A)
排気速度 200L(240L)/min 50L(60L)/min
外形寸法
(W)x(D)x(H)mm
170×520×560 170×400×580
重さ 約31kg 約18kg
従来との比較
   タッチパネル式(EVO) スイッチ式(OPC60A)
操作の説明 タッチパネル上で確認(日英対応) 紙のマニュアルを確認
膜厚の再現性
放電時間と放電電流の自動制御により実現
積層モード 自動で繰り返し製膜が可能 手動
超薄膜製膜機構 標準搭載 オプション(装置本体とは別に費用が追加)
親水化処理機構 標準搭載 オプション(装置本体とは別に費用が追加)
メンテナンス ロータリーポンプのオイル、フィルターの交換時期をタッチパネル画面でお知らせ ユーザー自身での管理が必要
セキュリティー パスワードで使用者を制限 なし
安全性
独自のオスミウムトラップフィルターにより環境基準をクリア(ロータリーポンプに標準装備