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ラインスキャン膜厚計

大塚電子 / 大塚電子
ID:K03325
インライン
オフライン
オフライン（ウェーハ対応）

フィルムの膜厚を全幅・全長測定

ラインスキャン膜厚計

  • ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全幅・全長フィルム検査を実現
  • ハード・ソフト共にオリジナル設計
  • 膜厚測定の専門メーカーだからできる充実サポート
  • 高精度に測定が可能（特許取得）
  • 高速に測定が可能
  • バタつきに強い
  • 幅広のサンプル（TD方向に最大10m測定可能）

仕様

シリーズ インラインタイプ オフラインタイプ オフライン（ウェーハ対応）タイプ
本体のサイズ
(W)x(D)x(H)mm		 81×140×343459×609×927660×950×1,000
重さ 4kg（ヘッドのみ）60㎏約120kg
電源 AC100V　125VA
位置分解能 1mm
測定幅 500mm～最大10m250mm最大300mm
膜厚測定範囲 0.1～300μm
測定間隔 1msec～50msec～
希望小売価格
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  • ※価格及び製品仕様は予告なく変更されることがあります。
  • ※価格に消費税は含まれておりません。
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  • ※製品の設置状況や付加機能を分かりやすく表現するため、製品に含まれない商品をあわせて掲載している場合があります。
  • ※表示金額以外に運送費、荷造費、搬入・据付費、組立設置費などを別途加算させていただくことがございます。
  • ※製品本来の使用目的に合わせてご利用ください。
  • ※製品によっては理化学実験の専門的な知識を必要とするものがあります。

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