IB-19540CP / IB-19550CCP
シリーズ | IB-19540CP(標準仕様モデル) | IB-19550CCP(冷却仕様モデル) |
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本体のサイズ (W)x(D)x(H)mm |
本体:587.2×802.5×429.3 ダイアフラムポンプ:140×264×141 | 本体:692×802.5×527.5 ダイアフラムポンプ:140×264×141 |
重さ | 本体:約69kg ダイアフラムポンプ:約4.4kg | 本体:約74kg ダイアフラムポンプ:約4.4kg |
電源 | 単相AC100~240V 50/60Hz 許容入力電圧変動±10V 設備定格15A以上 | |
イオンエネルギー | 2~10keV | |
ミリングスピード | 1,200μm/h以上*1 700μm/h以上*1(大気非曝露機能搭載時*2) |
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試料スイング機能 | ±30°自動スイングモード / 任意角度設定モード | |
自動加工開始モード | ○ | |
自動冷却開始モード 自動常温復帰モード |
- | ○ |
試料ステージ冷却到達温度 | - | -120℃以下 |
冷却温度設定範囲 | - | -120~0℃ |
-100℃到達時間 | - | 75分*3 |
冷却保持時間 | - | 8時間以上 |
予備冷却機能 | - | ○ |
大気非曝露機能 | ○(オプション:トランスファーベッセルシステム IB-11740TVS) | |
間欠加工モード | イオンビーム照射時間と停止時間を設定可能(ON:1~999秒、OFF:1~999秒) | |
仕上げ加工モード | 自動的に仕上げ加工条件に切り換え | |
広域断面ミリングモード | 最大加工幅:8mm(オプション:広域加工ホルダー IB-11730LMH) | |
広域平面ミリングモード | ○(オプション:大型試料回転ホルダー IB-11550LSRH) | |
最大搭載試料サイズ(断面) | 11mm(幅)×8mm(長さ)×3mm(厚さ)(標準試料ホルダー) 25mm(幅)×15mm(長さ)×10mm(厚さ)(オプション:広域加工ホルダー IB-11730LMH) |
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最大搭載試料サイズ(平面) | 40mm(直径)×15mm(厚さ)(オプション:大型試料回転ホルダー IB-11550LSRH) | |
試料移動範囲 | X軸:±6mm、Y軸:±2.5mm | |
操作パネル | タッチパネル | |
加工位置合わせ方法 | 位置合わせカメラまたは別置きの光学顕微鏡下 | |
加工位置合わせ倍率 | 約×70(ディスプレー上) | |
加工観察用カメラ倍率 | 約×20~×100(ディスプレー上)(オプション:IB-14530MCAM) | |
プリセット機能 | ○ | |
遠隔操作機能 | ○*4 | |
希望小売価格 (税抜) |
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