断面試料作製装置 IB-19540CP / IB-19550CCP クロスセクションポリッシャTM

ID:K04932

新GUIとIoT化で短時間で平滑な断面作製を実現

IB-19540CP / IB-19550CCP

  • 新GUIとIoT化 ~使い易さを追求した操作画面と遠隔操作~
    新GUI採用により操作手順がわかりやすくなりました。
    フローチャートに沿って加工条件が設定できます。
    プリセット機能により、試料に合わせた加工条件の保存・呼び出しができます。
    ネットワーク接続によりWebブラウザからCPにアクセスすることができます。
    離れた場所から複数台の加工状況の確認や操作をすることができます。

  • ハイスループットイオンソース ~標準加工レート1,200μm/h 以上~
    イオンソース電極の最適化と高加速電圧化によって、イオン電流密度が向上したハイスループットイオンソースを標準装備しています。

  • ハイスループット冷却システム ~冷却や常温復帰の自動化~(IB-19550CCP)
    冷却から常温復帰までが自動で行えます。
    また、冷却保持時間や試料冷却温度を維持できるように、装置側から液体窒素タンク周りを真空排気できます。


仕様

シリーズ IB-19540CP(標準仕様モデル) IB-19550CCP(冷却仕様モデル)
本体のサイズ
(W)x(D)x(H)mm
本体:587.2×802.5×429.3
ダイアフラムポンプ:140×264×141
本体:692×802.5×527.5
ダイアフラムポンプ:140×264×141
重さ 本体:約69kg
ダイアフラムポンプ:約4.4kg
本体:約74kg
ダイアフラムポンプ:約4.4kg
電源 単相AC100~240V 50/60Hz 許容入力電圧変動±10V 設備定格15A以上
イオンエネルギー 2~10keV
ミリングスピード 1,200μm/h以上*1
700μm/h以上*1(大気非曝露機能搭載時*2
試料スイング機能 ±30°自動スイングモード / 任意角度設定モード
自動加工開始モード
自動冷却開始モード
自動常温復帰モード
-
試料ステージ冷却到達温度 --120℃以下
冷却温度設定範囲 --120~0℃
-100℃到達時間 -75分*3
冷却保持時間 -8時間以上
予備冷却機能 -
大気非曝露機能 ○(オプション:トランスファーベッセルシステム IB-11740TVS)
間欠加工モード イオンビーム照射時間と停止時間を設定可能(ON:1~999秒、OFF:1~999秒)
仕上げ加工モード 自動的に仕上げ加工条件に切り換え
広域断面ミリングモード 最大加工幅:8mm(オプション:広域加工ホルダー IB-11730LMH)
広域平面ミリングモード ○(オプション:大型試料回転ホルダー IB-11550LSRH)
最大搭載試料サイズ(断面) 11mm(幅)×8mm(長さ)×3mm(厚さ)(標準試料ホルダー)
25mm(幅)×15mm(長さ)×10mm(厚さ)(オプション:広域加工ホルダー IB-11730LMH)
最大搭載試料サイズ(平面) 40mm(直径)×15mm(厚さ)(オプション:大型試料回転ホルダー IB-11550LSRH)
試料移動範囲 X軸:±6mm、Y軸:±2.5mm
操作パネル タッチパネル
加工位置合わせ方法 位置合わせカメラまたは別置きの光学顕微鏡下
加工位置合わせ倍率 約×70(ディスプレー上)
加工観察用カメラ倍率 約×20~×100(ディスプレー上)(オプション:IB-14530MCAM)
プリセット機能
遠隔操作機能 *4
希望小売価格
(税抜)
お問い合わせ お問い合わせ
*1 1時間の加工の深さ、イオンエネルギー 10keV、Si換算、エッジ距離100μm
*2 大気非曝露機能搭載時には、専用のイオンソースに変換します。
*3 標準試料ホルダー(SEM互換)を使用、液体窒素を充填し、5分間のバブリング後に測定した時間です。
*4 装置をネットワークに接続する際は、お客様のネットワークに従って装置を設定・接続してください。